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B1500A 半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀和測量模塊
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Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款支持 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等特性表征的綜合分析儀。作為是德科技精密型電流－電壓分析儀系列中的一員，它在基礎(chǔ)應(yīng)用和尖端應(yīng)用中都能執(zhí)行全方位的表征。它提供了極其廣泛的測量功能，包括器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件或幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試，可以實(shí)現(xiàn)無與倫比的測量可靠性和測量效率。此外，B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽使您可以添加或升級測量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測量需求。
具有圖形用戶界面的 Keysight EasyEXPERT group+ 表征軟件可以在 B1500A（配有 15 寸觸摸屏）的嵌入式 Windows 7 平臺上或在您的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行，更迅速地完成表征任務(wù)。在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中，它都支持通過交互式的手動(dòng)操作或借助半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作，在整個(gè)晶圓上實(shí)施高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種可以即時(shí)使用的測量（應(yīng)用測試），使您可以快速而輕松地執(zhí)行復(fù)雜的器件表征，并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）中，以確保不會(huì)遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能，Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。
B1500A 支持各種模塊，因此您可以根據(jù)自己的測量需求在多達(dá) 10 個(gè)插槽中配置它們。標(biāo)配的 SMU 模塊使您能夠以點(diǎn)測量、掃描測量和采樣測量等模式執(zhí)行各種 IV 測量。此外，SMU 還支持準(zhǔn)靜態(tài) CV（QSCV）測量。MFCMU 模塊支持輕松的電容測量，并通過選配的 SCUU 支持 IV/CV 切換。WGFMU 能夠利用任意波形輸出和快速數(shù)字化測量功能，在尖端應(yīng)用中執(zhí)行超快速的脈沖 IV 和動(dòng)態(tài) IV 測量。這些模塊結(jié)合使用，可以滿足各種應(yīng)用的需求。
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